真空泵機(jī)組是一種由羅茨泵作為主泵，水環(huán)泵作為前級(jí)泵串聯(lián)而成的設(shè)備。

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這種機(jī)組設(shè)計(jì)克服了單臺(tái)水環(huán)泵使用時(shí)極限壓力差和在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn)，同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作、有比較大抽氣速率的優(yōu)點(diǎn)。
在真空泵機(jī)組中，水環(huán)泵的主要作用是造成羅茨泵所需的預(yù)備真空，由于單級(jí)水環(huán)泵的極限真空度不高，而羅茨泵要求的預(yù)真空又比較高，因此通常使用極限壓力較低的雙級(jí)水環(huán)泵作為前級(jí)泵。
真空泵機(jī)組的工作原理主要是利用偏心轉(zhuǎn)子通過(guò)旋轉(zhuǎn)在泵腔內(nèi)形成容積變化，將氣體排出泵外，在吸氣過(guò)程中，吸氣室容積增大，真空度降低，將容器內(nèi)的氣體吸入泵室；在排氣過(guò)程中，體積變小，壓力升高，最后吸入的氣體通過(guò)油封排出泵外。
真空泵機(jī)組廣泛應(yīng)用于化工行業(yè)的真空蒸餾、真空蒸發(fā)、脫水結(jié)晶，食品行業(yè)的冷凍干燥等高空模擬試驗(yàn)，以及醫(yī)藥行業(yè)的真空干燥和輕紡行業(yè)的滌綸切片等領(lǐng)域，同時(shí)，在機(jī)械、石油、造紙、電力、電子、冶金、陶瓷、引水、印染、建材等領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用。
在選擇真空泵機(jī)組時(shí)，需要考慮其結(jié)構(gòu)，例如抽腐蝕性氣體時(shí)，必須要求真空泵用耐腐蝕材料或襯耐腐蝕材料制成，同時(shí)，真空泵的主要參數(shù)如抽氣速率、殘余壓力、抽氣量和起動(dòng)壓力也是選擇時(shí)需要考慮的重要因素。